FOSB-N2

SECS/GEM標準通信規格に準拠しており、FOSBの自動検出による窒素充填、窒素ガス漏れ警告、充填時間および窒素流量のプログラム設定、異常の自動判別機能を備えています。

使用エリア
主に12インチウエハー工場の出荷エリアにおいてFOSBを使用する区域で使用され、FOSB内部に窒素を充填することで製品の歩留まりを維持します。

自動搬送システム
大福（DAIFUKU）、村田（MURATEC）のシステムに対応しており、その他のシステムについてもお客様のご要望に応じて設計可能です。