Embedded-N2

SECS/GEM標準通信規格に準拠しており、FOUPの自動検出充填、窒素ガス漏れ警告、充填時間および窒素流量のプログラム設定、酸素濃度検知による警告、異常の自動判別、全機デジタル化などの機能を備えています。

使用エリア
主に12インチウエハー工場の生産エリアにあるストッカー内で使用されるFOUP窒素充填設備です。

自動搬送システム
大福（DAIFUKU）、村田（MURATEC）のシステムが使用され、その他のシステムについてもお客様のニーズに応じて設計が可能です。