Standalone-N2

SECS/GEM標準の通信規格に準拠し、FOUPの自動検知による窒素充填、窒素漏れ防止警報、充填時間および窒素流量のプログラム設定、異常の自動検出警報、全装置のデジタル化などの機能を備えています。

使用エリア
主に12インチウエハー工場の生産エリア床面に設置される、FOUP用窒素充填装置です。

自動運搬システム
大福（DAIFUKU）、村田（MURATEC）のシステムが使用され、その他のシステムについてもお客様のニーズに合わせて設計可能です。