Load Port-N2

SECS/GEM標準の通信規格に準拠しており、カスタマイズされた装置のLoad Portに窒素充填機能を追加することが可能です。EAP（装置自動化プラットフォーム）と接続することで、充填時間や窒素の流量をリモートで制御できます。

使用エリア
現在稼働中のすべての生産装置のLoad Portに、カスタマイズによる窒素充填機能の追加が可能です。