Load Port-N2

符合 SECS/GEM 标准通信规范，客制机台 Load Port 新增氮气充填装置。 与 EAP 连线，可远端控制充气时间与氮气大小流量。

使用区域

涵盖目前各生产设备 Load Port 皆可客制化新增。