FOSB-N2

符合 SECS/GEM 标准通信规范，具有 FOSB 自动侦测充气，防氮气泄漏警告，充气时间与氮气流量可程式化，自动判别异常警告。

使用区域

主要使用于 12 吋晶圆厂出货区需用 FOSB 的区域，用来填充氮气于 FOSB 内以保持产品的良率。

自动化载运系统

神钢(SHINKO)，大福(DAIFUKU) 与村田(MURATEC)，其它系统亦可依客户需求设计。