Standalone-N2

符合 SECS/GEM 标准通信规范，具有 FOUP 自动侦测充气，防氮气泄漏警告，充气时间与氮气流量可程式化，自动判别异常警告与全机数位化等功能。

使用区域

主要使用于 12 吋晶圆厂生产区地板，FOUP 气氮充填设备。

自动化载运系统

神冈(SHINKO)，大福(DAIFUKU)与村田(MURATEC)，其它系统，亦可依客户需求设计。