OHB-N2

符合 SECS/GEM 标准通信规范，具有 FOUP/Reticle POD 自动侦测充气，防氮气泄漏警告，充气时间与氮气流量可程式化，自动判别异常警告，防坠落，全机数位化等功能。

使用区域

主要使用于 12 吋晶圆厂生产区天花板或轨道，FOUP/Reticle POD 氮气充填设备。

自动化载运系统

神钢(SHINKO)，大福(DAIFUKU) 与村田(MURATEC)，其它系统亦可依客户需求设计。