OHB-N2

SECS/GEM標準通信規格に準拠しており、FOUP/Reticle PODの自動検出による窒素充填、窒素漏れ防止警告、充填時間および窒素流量のプログラム設定、自動異常判別警告、落下防止、装置全体のデジタル化といった機能を備えています。

使用エリア
主に12インチウエハー工場の生産エリア天井部またはレール上で使用される、FOUP／Reticle　POD用の窒素充填装置です。

自動運搬システム
大福（DAIFUKU）、村田（MURATEC）のシステムが使用され、その他のシステムについてもお客様のニーズに合わせて設計可能です。