Dummy Load Port

装置側はE84通信を通じてOHTと連携し、FOUPをDummy Load Portに設置して作業者/AGVが回収、または作業者/AGVがFOUPをDummy Load Portに設置し、OHTが搬送を行います。
また、SECS/GEMを介してMCSと接続し、FOUPの配送指示を行うことが可能です。
Dummy Load PortはRFID識別に対応しており、HOSTへの情報送信が可能です。