Dummy Load Port

機台端透過 E84 與 OHT 通訊，將 FOUP 下貨至 Dummy Load Port 由人員/AGV 取走，或是人員/AGV 將 FOUP 放置 Dummy Load Port 由 OHT 取走。

可透過 SECS/GEM 與 MCS 連線，派送 FOUP。

Dummy Load Port 支援 RFID 識別回傳到 HOST 端。