產品介紹
Rotary Dummy Load Port
配合機台 Load Port 方向,依設定進行 FOUP 轉向。
可透過 SECS/GEM 與 MCS 連線,派送 FOUP。
RDLP 支援 RFID 識別回傳到 HOST 端。
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配合機台 Load Port 方向,依設定進行 FOUP 轉向。
可透過 SECS/GEM 與 MCS 連線,派送 FOUP。
RDLP 支援 RFID 識別回傳到 HOST 端。