
产品介绍
Rotary Dummy Load Port
配合机台 Load Port 方向,依设定进行 FOUP 转向。
可透过 SECS/GEM 与 MCS 连线,派送 FOUP。
RDLP 支援 RFID 识别回传到 HOST 端。
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配合机台 Load Port 方向,依设定进行 FOUP 转向。
可透过 SECS/GEM 与 MCS 连线,派送 FOUP。
RDLP 支援 RFID 识别回传到 HOST 端。