Dummy Load Port

机台端透过 E84 与 OHT 通讯，将 FOUP 下货至 Dummy Load Port 由人员/AGV 取走，或是人员/AGV 将 FOUP 放置 Dummy Load Port 由 OHT 取走。

可透过 SECS/GEM 与 MCS 连线，派送 FOUP。

Dummy Load Port 支援 RFID 识别回传到 HOST 端。