Rotary Dummy Load Port

装置のLoad Portの方向に合わせて、設定に基づきFOUPの向きを自動で調整します。

SECS/GEMを介してMCSと接続し、FOUPの搬送指示が可能です。

RDLPはRFID識別に対応しており、HOSTへの情報送信が可能です。