光罩交换机

适用产品

RSP200、RSP150

功能简述

因制程需求变更光罩方向，可选择光罩片旋转角度 ( 0-270 度，90 度一个单位 ) 更换至另一个 POD 载具，并可由 SECS 通讯纪录传送产品的资讯。