8 吋 Wafer Sorter

适用产品

8 吋 Wafer POD、8 吋 Cassette.

功能简述

Wafer 由 A 载具传送至 B 载具，减少 Wafer 传送的时间。 并可由 SECS 通讯纪录传送产品的资讯。