产品介绍

EUV Pellicle 传送载具

适用产品

EUV Pellicle.

功能简述

EUV Pellicle 取放容易造成破损，故此治具可以取代人员取放薄膜的动作，降低人员失误而造成损坏。

返回

相关产品

8 吋 Wafer Sorter

光罩交换机

EUV Pellicle 检测模组