8 吋 Wafer Sorter

適用產品

8 吋 Wafer POD、8 吋 Cassette.

功能簡述

Wafer 由 A 載具傳送至 B 載具，減少 Wafer 傳送的時間。並可由 SECS 通訊紀錄傳送產品的資訊。