光罩交換機

適用產品

RSP200、RSP150

功能簡述

因製程需求變更光罩方向，可選擇光罩片旋轉角度 ( 0-270 度，90 度一個單位 ) 更換至另一個 POD 載具，並可由 SECS 通訊紀錄傳送產品的資訊。