
製品情報
マスク交換機
対応製品
RSP200、RSP150
機能概要
製造工程の変更により、マスクの向きを変えることができます。マスクの回転角度(0~270度、90度単位)を選択し、別のPODキャリアに交換できます。また、SECS通信により、製品情報の記録と送信が可能です。
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対応製品
RSP200、RSP150
機能概要
製造工程の変更により、マスクの向きを変えることができます。マスクの回転角度(0~270度、90度単位)を選択し、別のPODキャリアに交換できます。また、SECS通信により、製品情報の記録と送信が可能です。