FOSB-N2

符合 SECS/GEM 標準通信規範，具有 FOSB 自動偵測充氣，防氮氣洩漏警告，充氣時間與氮氣流量可程式化，自動判別異常警告。

使用區域

主要使用於 12 吋晶圓廠出貨區需用 FOSB 的區域，用來填充氮氣於 FOSB 內以保持產品的良率。

自動化載運系統

神鋼(SHINKO)，大福(DAIFUKU) 與村田(MURATEC)，其它系統亦可依客戶需求設計。