Load Port-N2

符合 SECS/GEM 標準通信規範，客製機台 Load Port 新增氮氣充填裝置。與 EAP 連線，可遠端控制充氣時間與氮氣大小流量。

使用區域

涵蓋目前各生產設備 Load Port 皆可客製化新增。