Embedded-N2

符合 SECS/GEM 標法通信規範，具有 FOUP 自動偵測充氣，防氮氣洩漏譥告，充氣時間與氮氣流量可程式化，氧濃度感知警示，自動判別異常警告與全機數位化等功能。

使用區域

主要使用於 12 吋晶圓廠生產區 Stocker 內，FOUP 氮氣充填設備。

自動化載運系統

神岡(SHINKO)，大福(DAIFUKU) 與村田(MURATEC)，其它系統亦可依客戶需求設計。