產品介紹
OHB-N2
符合 SECS/GEM 標準通信規範，具有 FOUP/Reticle POD 自動偵測充氣，防氮氣洩漏警告，充氣時間與氮氣流量可程式化，自動判別異常警告，防墜落，全機數位化等功能。
使用區域
主要使用於 12 吋晶圓廠生產區天花板或軌道，FOUP/Reticle POD 氮氣充填設備。
自動化載運系統
神鋼(SHINKO)，大福(DAIFUKU) 與村田(MURATEC)，其它系統亦可依客戶需求設計。
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